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PRODUCTS CNTER當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心光學(xué)精密測(cè)量?jī)x測(cè)量分析顯微鏡PZ-CS3500A3D輪廓測(cè)量顯微鏡
3D輪廓測(cè)量顯微鏡采用的位移矯正和邊緣識(shí)別,邊緣修正技術(shù),可以*消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍(光學(xué)<2000X.視頻<10000x)情況下電鏡的理想替代。遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出常規(guī)平面檢測(cè)(包括電鏡)的范圍。將光學(xué)顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術(shù)的發(fā)展。
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系統(tǒng)輕松解決以上不足,*突破顯微鏡的光學(xué) 固有限制??梢栽?0秒之內(nèi)得到樣品的三維立體圖像??梢暂p松的對(duì)樣品不同高度進(jìn)行優(yōu)質(zhì)成 像,得到平面優(yōu)質(zhì)圖片,繼而構(gòu)建3D模型,并通過(guò)智能測(cè)量模式,準(zhǔn)確測(cè)量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質(zhì)平面圖像/3D圖像的同時(shí),本系統(tǒng)還提供共焦點(diǎn)云的全自由度模型三維觀察使得用戶(hù)能夠從任意角度觀察樣品,系統(tǒng)通過(guò)一體化的設(shè)計(jì),可以實(shí)現(xiàn)高速自動(dòng)顯微鏡3D觀察、測(cè)量。
3D輪廓測(cè)量顯微鏡技術(shù)要求
光源是數(shù)碼成像的基礎(chǔ)之一,正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)的必需條件,系統(tǒng)所采用的照明裝置,均為機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣,色彩真實(shí),形態(tài)多樣,長(zhǎng)壽命(大于3萬(wàn)小時(shí)),根據(jù)不同用途,有多種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能組建復(fù)式照明技術(shù),配合數(shù)字消光技術(shù)(HDR),能展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)。
高精度壓電位移平臺(tái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)運(yùn)動(dòng):
全新的壓電位移平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級(jí)快響應(yīng)速度、簡(jiǎn)便的控制方式、通過(guò)超薄的設(shè)計(jì),減輕了整體重量,在運(yùn)動(dòng)中具有*準(zhǔn)確性,與光譜共焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)結(jié)合,可實(shí)行大范圍精準(zhǔn)掃描,得到計(jì)量級(jí)結(jié)果
光譜共焦技術(shù)具有*泛的材質(zhì)適應(yīng)性、穩(wěn)定性、檢測(cè)效率:
基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭,具有廣泛的測(cè)量適應(yīng)性,除常規(guī)材料之外,即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料,透明膠水層、薄膜材料均能實(shí)現(xiàn)有效的測(cè)量,其Z向分辨率可達(dá)到10nm以下,配合高精度的壓電位移臺(tái),能對(duì)樣品實(shí)現(xiàn)大面積準(zhǔn)確輪廓測(cè)量。得到的輪廓模型更可與光學(xué)景深圖像融合,最終得到計(jì)量級(jí)的彩色3D模型。
技術(shù)參數(shù)
PZ-CS3500H(手動(dòng)) | PZ-CS3500A(全自動(dòng)) | ||||||
光學(xué)系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)共軛防塵光學(xué)系統(tǒng) | |||||
變焦倍率 | 12:1 超大變倍比 | ||||||
變焦方式 | 電動(dòng)變焦 | ||||||
工作距離 | 80mm 標(biāo)準(zhǔn)1X物鏡,24X-280時(shí) | ||||||
倍數(shù)識(shí)別 | 自動(dòng)識(shí)別放大倍率 | ||||||
顯微相機(jī) | 圖像傳感器 | 1/1.8英寸,高速彩色CMOS芯片,1000萬(wàn)像素 | |||||
幀速率 | 60幀/秒 | ||||||
圖像分辨率 | 最高1000萬(wàn)像素(4400X2300) | ||||||
色彩還原 | 高性能色彩引擎Ultra-FineTM還原技術(shù) | ||||||
HDR功能 | 支持 | ||||||
照明裝置 | 視覺(jué)照明器 | 高亮度LED照明 | |||||
光源壽命 | 30000小時(shí)(設(shè)計(jì)值) | ||||||
照明方法 | 明場(chǎng) | 標(biāo)準(zhǔn) 同軸光源模式 | |||||
暗場(chǎng) | 單光源 常規(guī)觀察模式 | 雙光源系統(tǒng) 常規(guī)+深孔觀察模式 | |||||
斜射 | 四分區(qū)照明模式(軟件控制) | ||||||
偏光 | 標(biāo)準(zhǔn)(可選) | ||||||
微分干涉 | 標(biāo)準(zhǔn) 微分干涉需選擇專(zhuān)用干涉鏡頭(可選) | ||||||
透射 | 標(biāo)準(zhǔn)(可選) | ||||||
聚焦與行程 | 聚焦方式 | 手動(dòng)聚焦+自動(dòng)聚焦 | |||||
電動(dòng)行程 | 電動(dòng)升降120mm,最大可觀察150mm高度樣品 | ||||||
觀察角度 | 支座垂直與傾斜 | 垂直觀察模式/傾斜觀察模式(-90o- +90o) | |||||
平臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 載物平臺(tái)360o旋轉(zhuǎn)觀察 | ||||||
傾斜角度顯示 | 不支持 | 支持(可選) | |||||
光學(xué)物鏡組 | 低倍觀察物鏡 | 1X標(biāo)準(zhǔn)物鏡 工作距離90mm | |||||
手持觀察物鏡 | 0-250X放大倍率 智能顯示倍數(shù),接觸式穩(wěn)定觀察 聚焦性質(zhì) :一鍵式自動(dòng)聚焦功能 | ||||||
高倍觀察物鏡 | LY-LENS5X | LY-LENS10X | LY-LENS20X | LY-LENS50X | LY-LENS100X | ||
長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | |||
光譜傳感器 | 白光干涉原理 | 0.1mm-25mm量程,最高分辨率0.2nm,多種型號(hào)(選配) | |||||
精密平臺(tái) | 行程范圍 | 手動(dòng)單模式 70mmX50mm | 雙模式:手動(dòng)70mmx50mm | ||||
平臺(tái)精度 | 0.1mm | 壓電位移臺(tái):50nm | |||||
承重最大值 | 2KG | 2.5KG | |||||
3D觀測(cè) | 3D超景深 | 單視野3D觀測(cè) | 單視野觀測(cè)、3D拼接觀測(cè) | ||||
顯示 | 分辨率 | 24寸顯示器 1920X1080高清觀察 | |||||
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