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PRODUCTS CNTER當前位置:首頁產(chǎn)品中心光學精密測量儀測量分析顯微鏡PZ-CS3500H光學3D表面輪廓儀顯微鏡
光學3D表面輪廓儀顯微鏡采用的位移矯正和邊緣識別,邊緣修正技術,可以*消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍(光學<2000X.視頻<10000x)情況下電鏡的理想替代。遠遠超出常規(guī)平面檢測(包括電鏡)的范圍。將光學顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術的發(fā)展。
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光學3D表面輪廓儀顯微鏡技術要求
光源是數(shù)碼成像的基礎之一,正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細節(jié)的必需條件,系統(tǒng)所采用的照明裝置,均為機器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣,色彩真實,形態(tài)多樣,長壽命(大于3萬小時),根據(jù)不同用途,有多種結構設計,能組建復式照明技術,配合數(shù)字消光技術(HDR),能展現(xiàn)樣品細節(jié)。
高精度壓電位移平臺實現(xiàn)納米級運動:
全新的壓電位移平臺可實現(xiàn)納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應速度、簡便的控制方式、通過超薄的設計,減輕了整體重量,在運動中具有*準確性,與光譜共焦技術實現(xiàn)結合,可實行大范圍精準掃描,得到計量級結果
光譜共焦技術具有*泛的材質適應性、穩(wěn)定性、檢測效率:
基于白光色散技術的光譜共聚焦鏡頭,具有廣泛的測量適應性,除常規(guī)材料之外,即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料,透明膠水層、薄膜材料均能實現(xiàn)有效的測量,其Z向分辨率可達到10nm以下,配合高精度的壓電位移臺,能對樣品實現(xiàn)大面積準確輪廓測量。得到的輪廓模型更可與光學景深圖像融合,最終得到計量級的彩色3D模型。
技術參數(shù)
PZ-CS3500H(手動) | PZ-CS3500A(全自動) | ||||||
光學系統(tǒng) | 光學系統(tǒng) | 無限遠共軛防塵光學系統(tǒng) | |||||
變焦倍率 | 12:1 超大變倍比 | ||||||
變焦方式 | 電動變焦 | ||||||
工作距離 | 80mm 標準1X物鏡,24X-280時 | ||||||
倍數(shù)識別 | 自動識別放大倍率 | ||||||
顯微相機 | 圖像傳感器 | 1/1.8英寸,高速彩色CMOS芯片,1000萬像素 | |||||
幀速率 | 60幀/秒 | ||||||
圖像分辨率 | 最高1000萬像素(4400X2300) | ||||||
色彩還原 | 高性能色彩引擎Ultra-FineTM還原技術 | ||||||
HDR功能 | 支持 | ||||||
照明裝置 | 視覺照明器 | 高亮度LED照明 | |||||
光源壽命 | 30000小時(設計值) | ||||||
照明方法 | 明場 | 標準 同軸光源模式 | |||||
暗場 | 單光源 常規(guī)觀察模式 | 雙光源系統(tǒng) 常規(guī)+深孔觀察模式 | |||||
斜射 | 四分區(qū)照明模式(軟件控制) | ||||||
偏光 | 標準(可選) | ||||||
微分干涉 | 標準 微分干涉需選擇專用干涉鏡頭(可選) | ||||||
透射 | 標準(可選) | ||||||
聚焦與行程 | 聚焦方式 | 手動聚焦+自動聚焦 | |||||
電動行程 | 電動升降120mm,最大可觀察150mm高度樣品 | ||||||
觀察角度 | 支座垂直與傾斜 | 垂直觀察模式/傾斜觀察模式(-90º- +90º) | |||||
平臺旋轉 | 載物平臺360º旋轉觀察 | ||||||
傾斜角度顯示 | 不支持 | 支持(可選) | |||||
光學物鏡組 | 低倍觀察物鏡 | 1X標準物鏡 工作距離90mm | |||||
手持觀察物鏡 | 0-250X放大倍率 智能顯示倍數(shù),接觸式穩(wěn)定觀察 聚焦性質 :一鍵式自動聚焦功能 | ||||||
高倍觀察物鏡 | LY-LENS5X | LY-LENS10X | LY-LENS20X | LY-LENS50X | LY-LENS100X | ||
長工作距離 | 長工作距離 | 長工作距離 | 長工作距離 | 長工作距離 | |||
光譜傳感器 | 白光干涉原理 | 0.1mm-25mm量程,最高分辨率0.2nm,多種型號(選配) | |||||
精密平臺 | 行程范圍 | 手動單模式 70mmX50mm | 雙模式:手動70mmx50mm | ||||
平臺精度 | 0.1mm | 壓電位移臺:50nm | |||||
承重最大值 | 2KG | 2.5KG | |||||
3D觀測 | 3D超景深 | 單視野3D觀測 | 單視野觀測、3D拼接觀測 | ||||
顯示 | 分辨率 | 24寸顯示器 1920X1080高清觀察 | |||||
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