測(cè)量?jī)x產(chǎn)生誤差的原因

  影像測(cè)量?jī)x是它是一種基于光學(xué)投影原理，結(jié)合應(yīng)用現(xiàn)代光電技術(shù)和計(jì)算機(jī)處理技術(shù)，完成對(duì)試件邊緣輪廓金相瞄準(zhǔn)來(lái)實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)度尺寸測(cè)量的二維平面坐標(biāo)位置測(cè)量?jī)x。該儀器能高效地檢測(cè)各種形狀復(fù)雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，特別是精密零部件的微觀檢測(cè)與質(zhì)量控制。適用于產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、逆向工程、品質(zhì)檢測(cè)等領(lǐng)域。比起傳統(tǒng)的萬(wàn)能工具顯微鏡和投影儀，在硬件上增加了CCD攝像傳感器、數(shù)顯化光柵位置輸出裝置及自動(dòng)定位伺服控制系統(tǒng)，在測(cè)量或軟件功能上，具有自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)瞄準(zhǔn)及各種復(fù)雜自動(dòng)計(jì)算處理特點(diǎn)。電子和圖像處理技術(shù)的發(fā)展應(yīng)該，為影像測(cè)量?jī)x的多功能、高精度和自動(dòng)化程度提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐作用。應(yīng)用于工程現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量的影像測(cè)量?jī)x，通常其分辨率為0.001mm，測(cè)量不確定一般為（3+L/200）um左右，其中L為測(cè)量長(zhǎng)度（mm）。

    一般誤差出現(xiàn)的原因有以下幾點(diǎn)：

1）光柵計(jì)數(shù)尺的誤差；
2）工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差；
3）工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶了的誤差；
4）顯微鏡光軸與工作臺(tái)不垂直帶了的誤差；
5）測(cè)量室溫度帶來(lái)的誤差；
6）光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

在這幾種因素中，前四項(xiàng)誤差，是硬件誤差，在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái)，一般無(wú)法改變，溫度影響帶來(lái)的誤差，必須通過(guò)控制測(cè)量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。