掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000

更新時間：2021-01-11

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掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細介紹

?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術(shù)規(guī)格

項目		內(nèi)容
分解能*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓		0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率		6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式		真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍		預(yù)對中鎢燈絲
樣品臺		3-軸自動馬達臺 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～＋90°
大樣品尺寸		直徑80 mm
大樣品高度		40 mm
尺寸		主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測器選配		高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）能量分散型X線探測器（EDS）